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光刻烤膠機的使用方法

更新日期: 2024-10-15
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  光刻烤膠機可長時間持續(xù)穩(wěn)定工作,適用于各種光刻工藝需求,確保烘膠效果和質量。其緊湊的外形設計和觸摸屏參數(shù)設置使操作方便,是實驗室和制程工作的可靠選擇。
  光刻烤膠機的操作步驟:
  1、檢查烤膠機的溫度控制系統(tǒng)是否正常,包括加熱板的溫度均勻性和穩(wěn)定性。確認設備的通風和排氣系統(tǒng)是否暢通,以防止有害氣體的積聚。
  2、對涂有感光膠的硅片進行視覺檢查,排除表面有明顯的污漬或損傷。將硅片放置在烤膠機的加熱板上,注意要輕放以避免造成膠層的不均勻或氣泡的產(chǎn)生。確保硅片與加熱板的良好接觸,以保證熱量能夠均勻傳遞。
  3、溫度控制是烤膠過程中的關鍵。前烘的溫度設置在較低的水平,目的是慢慢驅除膠層中的溶劑,避免溶劑過快蒸發(fā)導致膠層出現(xiàn)針孔或裂紋。后烘的溫度則需要根據(jù)感光膠的型號和特性來設定,通常比前烘的溫度要高,以確保曝光后的圖案能夠固定下來。烤膠時間需要根據(jù)膠層的厚度和所需的固化程度來設定。
  4、烤膠完成后,小心地將硅片從烤膠機上取下,并對其進行冷卻處理。冷卻后的硅片可以進行后續(xù)的光刻曝光和顯影處理。
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